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精密測定機や原子間力顕微鏡などの校正用標準プレートのようです

以下はchatGPTに調べてもらったものです

Melles Griot の AFM 用 Step Height Calibration Standards（概要）
Melles Griot はかつて、以下のような ナノメートル〜サブミクロン範囲の段差校正試料を販売していました：
■ Step-Height Standard（ステップ高さ標準）
主な仕様：
段差高さ：10 nm / 20 nm / 100 nm / 500 nm / 1 m などのバリエーション
基板：シリコン (Si)
段差構造：熱酸化膜のエッチングによる高精度段差
表面：平滑、AFM に適した低粗さ
用途：AFM、白色干渉計、プロフィロメータのZ軸校正
多くの研究機関では、
Melles Griot step height＝高さ校正の基準試料
として長年使っていました。
ただし、今は “Melles Griot の校正標準” は生産終了（EOL）扱い
光学部門の再編により、
Melles Griot の AFM 校正標準は現在は製造していません。
同等の製品は他メーカーが引き継いだ形で販売されています。
現在、Melles Griot の代替として使われる互換シリーズ
Melles Griot の校正試料は、以下が実質的な後継・代替です：
■ BudgetSensors HS-20MG / HS-100MG / HS-500MG
（MG = Melles Griot と互換の意味）
HS-20MG → 20 nm ステップ
HS-100MG → 100 nm ステップ
HS-500MG → 500 nm ステップ
名称の “MG” は Melles Griot 互換を示すためのもの。
Melles Griot の校正試料を使っていた研究室は
ほとんどこの HS-MG シリーズに移行しています。